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全フッ素エーテル接着部品

Rubber Bonding / ゴムボンディング製品

特徴： 高い耐腐食能力と高いクリーン性を備え、低金属イオン含有量、低アウトガス、低析出物を実現します。金属骨格と接着してアッセンブリ部品となります。

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全フッ素エーテル接着部品




・用途：高いクリーン度と高い密閉性能が要求される半導体装置に適用。優れた耐化学薬品性能を有し、耐腐食シールやイオン堆積プロセスなどに使用されます。

・対象装置：銅メッキ装置、エッチング、CVD装置、PVD装置。

・製品番号：T7502、TG160、TG170。


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大冢化学管理（上海）有限公司
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