現在位置： 高いクリーン度材質
特徴： クラス100の生産環境と厳格な品質管理を備え、製品には耐腐食性、高いクリーン性があります。これにより、半導体の先端プロセスが求める金属イオン含有量、アウトガス、析出物に関する厳格な要件を満たします。
高いクリーン度材質
特徴： クラス100の生産環境と厳格な品質管理を備え、製品には耐腐食性、高いクリーン性があります。これにより、半導体の先端プロセスが求める金属イオン含有量、アウトガス、析出物に関する厳格な要件を満たします。
・用途： 半導体および液晶製造装置において、腐食性化学薬品とプラズマに晒される動作環境
・対象装置： エッチング、CVD装置、PVD装置、洗浄装置、CMP装置、銅めっき装置など。
・製品番号： T19、T83、T315、T320、T110、T7502、TG160、TG170。
+86-021 - 6236-8548+86-021-6091-7675+86-512-5690-7600
相談に行く
