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耐高温FFKM

耐高温材質

特徴： 300℃以上の耐熱能力を備えると同時に、優れた耐腐食能力および機械的性能を有します。

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耐高温FFKM




・用途： 半導体の酸化、拡散、エピタキシャル成長などの超高温システムの作業環境に適用。

・対象装置： エッチング、拡散、エピタキシャル成長、LPCVD、RTPなどの超高温装置。

・製品番号： TG750、TG160、TG170、TG180。


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大冢化学管理（上海）有限公司
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