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耐プラズマFFKM

耐プラズマ材質

特徴： プラズマ腐食はシール寿命に影響を与える要因です。本シリーズ製品は高い耐プラズマ性能と極めて低いパーティクル発生量を備え、ウェーハの歩留まりを大幅に向上させます。

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耐プラズマFFKM




・用途： 半導体製造装置において、腐食性化学薬品とプラズマに晒される動作環境。

・対象装置： エッチング、CVD装置、PVD装置など。

・製品番号： TG750、T83、T315、T320。


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大冢化学管理（上海）有限公司
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