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ドライエッチング

特徴：耐酸化性、耐フッ素性、広く耐化学薬品性があり、高いクリーン性を備えています。

用途：半導体および液晶製造装置で、腐食性化学薬品とプラズマに晒される動作環境

対象装置：CVD装置、PVD装置、エッチング、洗浄装置

製品番号：T19、T83、T315、T110、TG160、TG170

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大冢化学管理（上海）有限公司
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